CIENKIE WARSTWY DWUTLENKU CYNY W ASPEKCIE ZASTOSOWAŃ W MIKROELEKTRONICE

ISBN: 978-83-7880-196-2

133 stron
format: B5
oprawa: miękka
Rok wydania: 2013

W monografii przedstawiono wyniki prac nad technologią wytwarzania i charakteryzacją warstw dwutlenku cyny SnO2, prowadzone przez Autora w Zakładzie Mikroelektroniki i Nanotechnologii Instytutu Elektroniki Politechniki Śląskiej. Przedstawione badania, w tym przede wszystkim prace nad techniką wytwarzania warstw SnO2 przy wykorzystaniu procedury rozwirowania specjalnie preparowanych roztworów i formowania ich ostatecznych właściwości w procesie utleniania termicznego pokazują, że metoda ta daje wiele niewykorzystanych jeszcze możliwości formowania warstw sensorowych w czujnikach gazów o kontrolowanej i pożądanej nanostrukturze.SPIS TREŚCIOd autoraSpis oznaczeń skrótów i akronimów1. Motywacja podjęcia tematu, cel i zakres rozprawyBibliografia2. Właściwości i rola cienkich warstw SnO2 w mikroelektronice2.1. Dwutlenek cyny SnO2 - właściwości podstawowe2.1.1. Właściwości elektryczne SnO22.1.2. Właściwości optyczne dwutlenku cyny2.2. Wybrane zastosowania cienkich warstw SnO22.2.1. Cienkie warstwy SnO2 w rezystancyjnychstrukturach sensorowych2.2.2. Cienkie warstwy SnO2 w konstrukcji strukturfotowoltaicznychBibliografia3. Metodyka wytwarzania cienkich warstw SnO23.1. Fizyczne metody osadzania cienkich warstw3.1.1. Metoda parowania próżniowego3.1.2. Metoda rozpylania jonowego3.1.3. Metoda epitaksji z wiązek atomowych (molekularnych)3.2. Chemiczne metody osadzania warstw cienkich3.2.1. Metody zol-żel3.2.2. Metody osadzanie warstw z fazy pary3.3. Porównanie właściwości cienkich warstw dwutlenku cyny SnO2wytwarzanych różnymi metodamiBibliografia4. Cienkie warstwy SnO2 wytwarzane metodą wzrostu reotaksjalnegoz utlenianiem termicznym4.1. Podstawowe informacje literaturowe4.2. Cel i zakres prac4.3. Metodyka oraz wyniki badań i dyskusja4.3.1. Osadzanie warstw cienkich RGTO SnO2 oraz kontrola ichwłaściwości strukturalnych, morfologicznych i sensorowych4.3.2. Struktura i morfologia warstw cienkich RGTO SnO24.3.3. Właściwości chemiczne cienkich warstw RGTO SnO24.3.4. Właściwości elektryczne i sensorowe cienkichwarstw RGTO SnO2Bibliografia5. Cienkie warstwy SnO2 wytwarzane metodą rozpylania jonowego5.1. Podstawowe informacje literaturowe5.2. Cel i zakres prac5.3. Metodyka oraz wyniki badań i dyskusja5.3.1. Rozpylanie jonowe cienkich warstw SnO2 oraz kontrola ichwłaściwości strukturalnych, morfologicznych i elektrycznych5.3.2. Struktura i morfologia cienkich warstw SnO2rozpylanych jonowo5.3.3. Właściwości chemiczne cienkich warstw SnO2rozpylanych jonowo5.3.4. Właściwości elektryczne i sensorowe cienkich warstwSnO2 rozpylanych jonowoBibliografia6. Cienkie warstwy SnO2 wytwarzane metodą rozwirowaniaz roztworów i utleniania termicznego6.1. Podstawowe informacje literaturowe6.2. Cel i zakres prac6.3. Metodyka oraz wyniki badań i dyskusja6.3.1. Osadzanie cienkich warstw SnO2 metodą rozwirowaniaz roztworów i utleniania termicznego oraz kontrola ichwłaściwości strukturalnych i morfologicznych6.3.2. Struktura oraz morfologia cienkich warstw SnO2powstałych przez rozwirowanie i utlenianie termiczne6.3.3. Właściwości chemiczne cienkich warstw SnO2 formowanychw procesie rozwirowania i utleniania termicznegoBibliografia7. Analiza porównawcza właściwości cienkich warstw SnO2 uzyskiwanychmetodami osadzania reotaksjalnego i utleniania termicznego,rozpylania jonowego oraz rozwirowania i utleniania termicznego7.1. Morfologia powierzchni7.2. Właściwości chemiczne powierzchni warstwBibliografia8. Podsumowanie i wnioskiStreszczenie